产品说明
一、产品用途、适用范围及特点
该设备主要用适用于半导体材料如硅片、Ⅲ-Ⅴ族化合物(砷化镓、磷化铟)、陶瓷、玻璃等其它硬脆材料的高速高精度多片切割加工;主要适用于3"~6"硅片的高速高精度多片切割加工。
该设备具有收放线传动结构短捷可靠;张力控制先进;双球面顶紧线辊设计;四导柱高刚度工作台;配合*新总线控制技术及精密温度控制系统,切片精度高,翘曲度小,切片质量稳定,切割成本小;切割效率高,可满足不同切割加工工艺的要求;设备操作简单,保养方便。
二、整机规格与参数
2.1导线轮。
卷线宽度:Φ250±10×410×2轴
轴间距离:650mm(两轴)
旋转速度:*大1000rpm
2.2加工能力
工件*大尺寸
宽×高×长:156mm×156mm×400mm(两根)
2.3切割线
直径:φ0.08mm~φ0.18mm
供线轮绕线能力:规格TA100
恒定张力:15.0N~40.0N(*小设置单位:0.1N)
张力分辨率:0.1N
张力控制精度:0.5N
2.4切割线供线速度:平均500m/min(*大800m/min)
2.5工作台
升降行程:*大350mm
切削速度:0.2-10mm/min
工作台移动速度:0.2-357mm/min
2.6供砂系统
砂桶容量:300供砂量:*大180/min(兼用搅拌)
控制温度:设定±2°
2.7控制装置:采用高档PC结合智能化的触摸屏控制系统
2.8电机
导轮驱动电机:55kw
切割线供给/回收电机:15kw
砂浆泵电机:3.7kw
砂浆搅拌电机:750W
设备内冷却换气扇电机:9.5W×2
绕线排线电机:500W
工作台升降电机:1kw
张力控制电机:2kw
切割线张力控制用电机:2.0kw×2。